ＸＰＳ（X-ray Photoelectron Spectroscopy)はＥＳＣＡ（Electron Spectroscopy for Chemical Analysis）とも呼ばれ、日本語ではＸ線光電子分光と呼ばれています。表面分析の代表的手法の一つで、表面から数nm程度までの極表面領域の組成や元素の化学状態が…