JRLテックログ
表面分析に分類されるものは極めて多種多様な分析手法が存在します。下表では、代表的な表面分析である、X線光電子分光法(XPS、ESCA)、オージェ電子分光法(AES)、2次イオン質量分析法(SIMS,TOF-SIMS)、電子線微小部分析法(…
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